Жарым өткөрүүчү өнөр жайындагы газдарды колдонуу 1950-жылдардын башында 1960-жылга чейин берилет. Жарым өткөргүчү өндүрүштүк өндүрүш процессинде газдар, негизинен, алардын тазалыгын жана сапатын камсыз кылуу үчүн жарым өткөргүч материалдарын тазалоо жана коргоо үчүн колдонулат. Эң көп колдонулган газдардын катарына азот жана суутек.
Жарым өткөргүчү технологиясы өнүккөн жана өндүрүш процесстерин өркүндөтүүнү улантуу улантылып, газдарга суроо-талап жогорулады. 1970-жылы көмүскө өндүрүү технологияларын андан ары өнүктүрүү, жука тасмаларды акырындык менен көбөйтүү жана жайгаштыруу жана фторид газдарынын өсүшү жана жайгаштырылышы, мисалы, фторид газдарында (мисалы SF6) жана кычкылтек көп колдонулган жигердүү жана чөгүп кетүү. 1980-жылдагы интегралдык схемаларды иштеп чыгуу жана аларга суроо-талаптын көбөйүшү менен газдарга суроо-талаптын андан ары жогорулагандыгын көрдү. Суутекти өндүрүү процессинде, анын ичинде суутек менен суутек буусу жана суутек буусу чөгүүдө кеңири колдонулган. 1990-жылдан азыркы учурга чейин, жогорку тазалыкты газдарына жана конкреттүү газдарга суроо-талап бир кыймыкчан түзмөктүн өлчөмдөрү кыскарып, жаңы процесстерди киргизүү улантылган деп көбөйдү. Мисалы, ультрафиолет литографиясынын (EUV) колдонулушу азот жана суутек сыяктуу өтө бийик тазалыкты колдонууну талап кылат.
Бензиндиктердин келип чыккан тиешелүү продукцияларды иштеп чыгуусу менен, газды декомпрессия, газдын агып кетиши, газдын агып кетүүчү продукцияларына жол бербөө үчүн, ал эми газдын агып кетиши, газдын басымы, газ агып кетиши сыяктуу пайда болгон, алардын ролдору төмөнкүлөр;
Басым жөнгө салуучуларга: Басым жөнгө салуучулары газ басымын контролдоо үчүн колдонулган түзмөктөр. Адатта, алар жөнгө салуучу клапандан жана басым сезиминен турушат. Басым жөнгө салуучулардын басымын басымдуулук кылат, өсүмдүктүн газынын басымдын белгилүү бир талаптарын канааттандыруу үчүн, куртка талаптарга ылайыкташтыруу менен, чыгарылган газдын басымын турукташтырат. Басым жөнгө салуучулары өнөр жай, өндүрүш, лабораториялар, ошондой эле жарым өткөргүч өнөр жайындагы, ошондой эле жарым өткөргүч өнөр жайындагы, башкалардын арасында, ошондой эле семордорстор өнөр жайы, ошондой эле, ошондой эле, ошондой эле, ошондой эле, ошондой эле, ошондой эле семорактор өнөр жайы, башкалардын арасында кеңири колдонулат.
Газ клапулдары: Газ клапандары газдар агымын көзөмөлдөө жана газ үзүндүлөрүн жабуу үчүн колдонулат. Адатта, алар газ агымын ачат же жабат же жабат алышат. Ар кандай газ клапандары, анын ичинде кол клапандар, электр клапандары жана пневматикалык клапандар бар. Алар газды, басымы жана газдарынын агымын контролдоо үчүн газ тутумдарында кеңири колдонулат.
Газ басымы өлчөөчүлөр: газдын басымынын деңгээлин өлчөө үчүн газ басымы өлчөө үчүн колдонулат. Алар, адатта, басымдын өзгөрүшүн көзөмөлдөө үчүн газ тутумундагы критикалык жерлерде орнотулат. Газ басымы өнөр жай, өндүрүш, лабораторияларда кеңири колдонулат жана жарым өткөргүч өнөр жайы да катышкан.
Газдын агып кетиши детекторлору: газ тутумундагы агымдарды аныктоо үчүн газ агып кетүүчү детекторлор колдонулат. Алар аныкташатӨсүмдүк өбөлгө болуу үчүн, өз убагында иш-аракеттерди жүргүзүү үчүн, газдын агып кетиши жана угулушу үчүн Газ агып кетүүчү детекторлору өнөр жай, химиялык, мунай жана газ арыздарында кеңири колдонулат, ал эми жарым өткөргүч өнөр жайы да катышкан.
Пост убактысы: FEB-20-2024