Жарым өткөргүч базар өсүп жаткандыктан, тазалыктын жана тактыктын стандарттары катаал болуп калат. Жарым өткөргүчү өндүрүштүн сапатынын сапатынын бири - бул процессте колдонулган газдар. Бул газдар өндүрүш процессинде көптөгөн ролдорду ойнойт, анын ичинде:
Тактык процесстерин башкаруу
Булгануу алдын алуу
Металлургиялык мүлктү өркүндөтүү
Бул ролдорду натыйжалуу аткаруу үчүн газ менен камсыздоо жана бөлүштүрүү тутуму натыйжалуу болушу керек. Жарым өткөргүчү өндүрүшүндө колдонулган газды иштетүү тутумун долбоорлоо, анткени жарым өткөргүчтөрдүн ишенимдүү жана сапаттуу өндүрүшүн камсыз кылуу үчүн бекем компоненттерди жана ылайыкташтырылган чогулуштар менен колдоого алынышы керек.
Жарым өткөргүч өндүрүшүндө колдонулган газдар
Өндүрүш жарчылар процесси процесстин ар кандай баскычтарында ар кандай газдарды колдонууну талап кылат.
Азот, суутек, аргон гелий сыяктуу жалпы газдар таза формада колдонсо болот, айрым процесстер адистештирилген аралашмаларды талап кылышы мүмкүн. Силан же силансан, хексаалдалар, халиддер жана углеводороддор жарым өткөргүч өндүрүшүндө колдонулган адистик газдарынын бир азы болуп саналат. Бул газдардын көпчүлүгү кооптуу же жогорку реактивдүү болушу мүмкүн, газ тутумдары үчүн компоненттерди тандоодо жана долбоорлоодо кыйынчылыктарды жаратышы мүмкүн.
Мына бир нече мисал келтирилген:
\ Суутек жана гелий кичинекей атомдук көлөмүнө жана салмагына байланыштуу түп-тамырынан жана жарыш тутумунан оңой эле агып кетиши мүмкүн.
\ Силан - бул өтө күйүүчү жана өзүнөн-өзү күйүп кетиши мүмкүн.
\ \ Азот дифлоуорид, йотинг жана палата тазалоо баскычтары айлана-чөйрөгө жайылтууда күчтүү печенье газы болуп калат.
\ Суутек фторид (бензин) металл түтүктөрү үчүн өтө коррозия.
\ Максатсыз жана аммиак - алардын температурасынын жана басымдын талаптарын сактоо үчүн чакан олку-солкулук кылуу кыйын болушу мүмкүн.
Бул газдардын терс таасирлерин минималдаштыруу үчүн процесстин шарттары тутумдун дизайнын мезгилинде артыкчылыктуу багыт болушу керек. Куруу процессинде AFK диафрагма клапандары сыяктуу жогорку сапаттагы компоненттерди колдонуу бирдей мааниге ээ.
Тутумдун дизайнына байланыштуу кыйынчылыктар
Жарым өткөргүч класстагы газдар көпчүлүк учурда, жогорку тазалыктын көпчүлүгүндө, инерттүү шарттарда, мисалы, өндүрүш процесстин ар кандай баскычтарында реакцияларды, мисалы, ETC жана депө турган газдар сыяктуу. Мындай газдардын агуусу же булганышы терс таасирин тийгизиши мүмкүн. Демек, системалык мөөр басылган жана коррозияга туруштук берүү үчүн колдонулган тутумдун компоненттери үчүн маанилүү, ошондой эле булганууга мүмкүнчүлүк жок экендигин жана тазалыктын өтө жогорку деңгээли сакталышы үчүн, жылмакай жер бетин бүтүрүү (электролиттик жылтыратуу).
Мындан тышкары, бул газдардын кээ бирлери каалаган процесстин шарттарына жетишүү үчүн ысытып же муздашы мүмкүн. Жакшы изоляцияланган компоненттер температураны контролдоону камсыз кылат, бул акыркы продукциянын натыйжалуулугунун натыйжалуу аткарылышы үчүн маанилүү.
Булак киргенге чейин, AFKдин кеңири чөйрөсү Жарым өткөргүч бөлмөсүндө жана вакуум палаталарында талап кылынган ультра-жогорку тазалыкты, температуранын, басым жана агымдарды көзөмөлдөп туруучу.
Жарым өткөргүч фабралда сапаттуу компоненттер менен иштелип чыккан системалар
Сапаттуу компоненттердин ролу жана дизайн оптимизациясы жарым өткөргүчтөрдүн так көзөмөлүнө жана коопсуз өндүрүшүн так аткарууга өтө маанилүү. Колдонулган компоненттерге шайкеш келүү үчүн колдонулган курамдык жана агып кетиши керек.
Ультра жогорку тазалыгы
Агып кетүүчү мөөрлөр
Температураны көзөмөлдөө
Басым контролу
Коррозия каршылыгы
Электролиттик жылтыратуу дарылоо
Пост убактысы: Oct-09-2023