Жогорку тазалыктагы газ түтүктөрүнүн технологиясы жогорку тазалыктагы газ менен камсыздоо системасынын маанилүү бөлүгү болуп саналат, ал талап кылынган жогорку тазалыктагы газды колдонуу пунктуна жеткирүү жана дагы деле квалификациялуу сапатын сактоо үчүн негизги технология болуп саналат;Жогорку тазалыктагы газ түтүктөрүнүн технологиясы системанын туура конструкциясын, арматураларды жана аксессуарларды тандоону, курууну жана орнотууну жана сыноону камтыйт.Акыркы жылдарда ири масштабдуу интегралдык микросхемалар менен көрсөтүлгөн микроэлектроника буюмдарын өндүрүүдө жогорку тазалыктагы газдардын тазалыгына жана ыпластыктын мазмунуна уламдан-улам катуу талаптар коюлуп, жогорку тазалыктагы газдардын түтүктөрүнүн технологиясы уламдан-улам тынчсызданууну жана баса белгилөөдө.Төмөндө материалды тандоодон жогорку тазалыктагы газ түтүктөрүнүн кыскача баяндамасы келтирилгенof курулуш, ошондой эле кабыл алуу жана кунделук башкаруу.
Жалпы газдардын түрлөрү
Электрондук өнөр жайдагы жалпы газдардын классификациясы:
Жалпы газдар（Жаппай газ): суутек (H2), азот (Н2), кычкылтек (О2), аргон (А2), жана башкалар.
Атайын газдарSiH болуп саналат4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… жана башкалар.
Атайын газдардын түрлөрүн жалпысынан коррозиялык деп классификациялоого болотгаз, уулуугаз, күйүүчүгаз, күйүүчүгаз, инерттүүгаз, ж.б. көп колдонулган жарым өткөргүч газдар жалпысынан төмөнкүдөй классификацияланат.
(i) Коррозиялык / уулуугаз: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…жана башкалар.
(ii) Тутануучулукгаз: Х2, Ч4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, Б2H6, CH2F2,CH3F, CO…ж.б.
(iii) күйүүгаз: О2, Cl2, Н2О, НФ3… жана башкалар.
(iv) инерттүүгаз: Н2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He… ж.б.
Көптөгөн жарым өткөргүч газдар адамдын организмине зыяндуу.Атап айтканда, бул газдардын кээ бирлери, мисалы, SiH4 өзүнөн-өзү күйүү, эгер агып кетүү абадагы кычкылтек менен катуу реакцияга кирип, күйө баштаса;жана ASH3өтө уулуу, кандайдыр бир кичине агып кетүү адам өмүрүнө коркунуч алып келиши мүмкүн, бул ачык коркунучтардан улам, системанын дизайнынын коопсуздугуна талаптар өзгөчө жогору.
Газдарды колдонуу чөйрөсү
Заманбап өнөр жайдын маанилүү негизги чийки заты катары газ продуктулары кеңири колдонулат, ал эми көп сандагы жалпы газдар же атайын газдар металлургияда, болотто, мунай, химиялык өнөр жайда, машина курууда, электроникада, айнек, керамика, курулуш материалдары, курулушта колдонулат. , тамак-аш кайра иштетүү, медицина жана медициналык секторлор.Газды колдонуу өзгөчө бул кендердин жогорку технологиясына маанилүү таасирин тийгизет жана анын ажырагыс чийки заты же технологиялык газы болуп саналат.Ар кандай жаңы өнөр жай тармактарынын жана заманбап илим менен техниканын муктаждыктары жана алдыга жылдыруу менен гана газ өнөр жай продукциясын түрдүүлүгү, сапаты жана саны боюнча секирик менен өнүктүрүүгө болот.
Микроэлектроникада жана жарым өткөргүч өнөр жайында газдын колдонулушу
Газды колдонуу ар дайым жарым өткөргүч процессинде маанилүү ролду ойноп келген, айрыкча жарым өткөргүч процесси салттуу ULSI, TFT-LCDден азыркы микро-электро-механикалык (MEMS) өнөр жайына чейин ар кандай тармактарда кеңири колдонулган. буюмдарды өндүрүү процесси катары жарым өткөргүч деп аталган процессти колдонушат.Газдын тазалыгы компоненттердин иштешине жана продукциянын түшүмдүүлүгүнө чечүүчү таасирин тийгизет, ал эми газ менен камсыздоонун коопсуздугу персоналдын ден соолугуна жана ишкананын ишинин коопсуздугуна байланыштуу.
Жогорку тазалыктагы газ ташууда жогорку тазалыктагы түтүктөрдүн мааниси
Дат баспас болоттон жасалган эритүү жана материалды жасоо процессинде тоннасына 200 г газды сиңирип алууга болот.Дат баспас болоттон жасалгандан кийин анын бети ар кандай булгоочу заттар менен жабышчаак гана эмес, анын металл торунда да белгилүү өлчөмдө газды сиңирип алган.Түтүк аркылуу аба агымы болгондо, металл газдын бул бөлүгүн өзүнө сиңирип алып, таза газды булгап, аба агымына кайра кирет.Түтүктөгү аба агымы үзгүлтүксүз агым болгондо, түтүк басым астында газды адсорбциялайт, ал эми аба агымы өтүп токтогондо, түтүк менен адсорбцияланган газ чечүү үчүн басымдын төмөндөшүн түзөт жана чечилген газ түтүктөгү таза газга да кирет. аралашмалар катары.Ошол эле учурда адсорбция жана резолюция кайталанып, түтүктүн ички бетиндеги металл да белгилүү өлчөмдө порошок чыгарат жана бул металл чаң бөлүкчөлөрү түтүктүн ичиндеги таза газды да булгайт.Түтүктүн бул мүнөздөмөсү ташылып жаткан газдын тазалыгын камсыз кылуу үчүн өтө маанилүү, ал түтүктүн ички бетинин өтө жогорку жылмакайлыгын гана эмес, ошондой эле жогорку эскирүүгө туруктуулукту талап кылат.
Күчтүү коррозияга жөндөмдүү газ колдонулганда, трубалар үчүн коррозияга туруктуу дат баспас болоттон жасалган түтүктөр колдонулушу керек.Болбосо, түтүк коррозиядан улам ички бетинде коррозия тактарын пайда кылат, ал эми олуттуу учурларда, металлды сыйруунун же ал тургай тешиктин чоң аянты пайда болот, бул бөлүштүрүлө турган таза газды булгайт.
Жогорку тазалыктагы жана жогорку тазалыктагы газ өткөргүч жана бөлүштүрүүчү түтүктөрдү туташтыруу.
Негизи, алардын баары ширетилген, жана колдонулган түтүктөр ширетүү колдонулганда уюмда эч кандай өзгөрүү болбошу керек.Курамында көмүртек өтө жогору болгон материалдар ширетүүдө ширетүүчү тетиктердин аба өткөрүмдүүлүгүнө дуушар болушат, бул газдардын түтүктүн ичинде жана сыртында өз ара киришин камсыз кылат жана өткөрүлүүчү газдын тазалыгын, кургактыгын жана тазалыгын бузат, натыйжада биздин бардык аракеттерибиз.
Жыйынтыктап айтканда, жогорку тазалыктагы газ жана атайын газ өткөргүч түтүгү үчүн жогорку тазалыктагы дат баспас болоттон жасалган түтүктү атайын тазалоону колдонуу, жогорку тазалыктагы түтүк системасын (анын ичинде түтүктөрдү, арматураларды, клапандарды, VMB, VMP) жасоо керек. жогорку тазалыктагы газ бөлүштүрүү маанилүү миссияны ээлейт.
Өткөрүүчү жана бөлүштүрүүчү түтүктөрдүн таза технологиясы жөнүндө жалпы түшүнүк
Абдан таза жана таза газ кузовунун түтүктөрү менен өткөрүлүшү газдын үч аспектиси үчүн белгилүү бир талаптардын же көзөмөлдүн бар экенин билдирет.
Газдын тазалыгы: gGas тазалыгынын курамындагы аралашма атмосферасынын мазмуну: Газдагы аралашманын атмосферасынын мазмуну, адатта, газдын тазалыгынын пайызы менен көрсөтүлөт, мисалы, 99,9999%, ошондой эле аралашманын атмосферасынын мазмунунун көлөмдүк катышы катары көрсөтүлөт ppm, ppb, ppt.
Кургактык: газдагы изи нымдуулуктун өлчөмү же нымдуулук деп аталган сумма, адатта шүүдүрүм чекити менен көрсөтүлөт, мисалы, атмосфералык басым шүүдүрүм чекити -70.C.
Тазалык: газдын курамындагы булгоочу бөлүкчөлөрдүн саны, бөлүкчөлөрдүн өлчөмү мкм, кысылган аба үчүн канча бөлүкчө/М3 экспрессиялоо керек, адатта, мунайдын курамын камтыган, канча мг/м3 сөзсүз катуу калдыктар менен да көрсөтүлөт. .
Булгоочу заттардын өлчөмү классификациясы: булгоочу заттардын бөлүкчөлөрү, негизинен, анын бөлүкчөлөрүнүн өлчөмүнө жараша металл бөлүкчөлөрүнүн, атмосфералык көөнүн бөлүкчөлөрүнүн, ошондой эле микроорганизмдердин, фагдардын жана ным камтыган газ конденсациясынын тамчыларынын ж. бөлүнөт
а) Чоң бөлүкчөлөр – бөлүкчөлөрдүн өлчөмү 5мкм жогору
б) Бөлүкчө – материалдын диаметри 0,1мкм-5мкм
в) Ультра микробөлүкчөлөр – бөлүкчөлөрдүн өлчөмү 0,1мкмден аз.
Бул технологияны колдонууну өркүндөтүү, бөлүкчөлөрдүн өлчөмүн жана мкм бирдиктерин кабылдоочу түшүнүү үчүн, маалымдама үчүн бөлүкчөлөрдүн конкреттүү статусунун топтому берилген.
Төмөндө конкреттүү бөлүкчөлөрдүн салыштыруусу келтирилген
| Аты /бөлүкчөлөрдүн өлчөмү (μм) | Аты /бөлүкчөлөрдүн өлчөмү (μм) | Аты/бөлүкчөлөрдүн өлчөмү (мкм) |
| Вирус 0.003-0.0 | Аэрозоль 0,03-1 | Аэрозолгон микротамчы 1-12 |
| Ядролук отун 0,01-0,1 | Боёк 0,1-6 | Күл 1-200 |
| Көмүртек кара 0,01-0,3 | Сүт кургак 0,1-10 | Пестицид 5-10 |
| Чайыр 0,01-1 | Бактериялар 0,3-30 | Цемент чаңы 5-100 |
| Тамекинин түтүнү 0,01-1 | Кум чаңы 0,5-5 | Чаңча 10-15 |
| Силикон 0,02-0,1 | Пестицид 0,5-10 | Адамдын чачы 50-120 |
| Кристаллдаштырылган туз 0,03-0,5 | Концентрацияланган күкүрт чаңы 1-11 | Деңиз куму 100-1200 |
Посттун убактысы: 14-июнь-2022