Бийик тазалыктын түп-тамыры технологиясы - бул талап кылынган жогорку тазалык газды пайдалануу пунктуна жеткирүүнүн негизги технологиясы жана квалификациялуу сапатты колдонуунун негизги технологиясы болгон негизги технологиянын маанилүү бөлүгү болуп саналат; Бийик тазалыктын түтүктөрүн түп-тамыры технологиясы, тутумдун туура дизайны, арматураны жана аксессуарларды тандоону, курулуш-монтаждарды жана тестирлөөнү камтыйт. Акыркы жылдары ири интегралдык микрогной микроглоштурулган микролектроника продукциясын өндүрүү боюнча тазалыктын мазмунун жана калпырлоонун олуттуу талаптары барган сайын, жогорку тазалык газлердин түпкү технологиясын жогорулатуу технологиясын жогорулатып, баса белгилеген жана баса белгиленди. Төмөндө материалдык тандоодон жогорку тазалык газ түтүгүнө кыскача серепof курулуш, ошондой эле кабыл алуу жана күнүмдүк башкаруу.
Жалпы газдардын түрлөрү
Электрондук индустриядагы жалпы газдардын классификациясы:
Жалпы газдар(Жапырт газ): Суутек (H2), азот (n2), кычкылтек (о2), Аргон (a2), жана башкалар.
Адистик газдарСих4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… жана башкалар.
Адатта, атайын газдардын түрлөрү көбүнчө датчы деп классификацияланышы мүмкүнгаз, уулуугаз, күйүүчүгаз, күйүүчүгаз, Инертгазж.б., адатта, колдонулган жарым өткөргүч газдарынын негизинен, төмөндөгүдөй классификацияланган.
(i) Коррозия / уулуугаз: HCL, BF3, Wf6, ХБР, СИХ2Cl2, NH3, Тел3, Cl2, Bcl3…жана башкалар.
(iiБатаалдыкгаз: H2, CH4, Сих4, Тел3, ASH3, SIH2Cl2, B2H6, CH2F2,Ch3F, CO ... ж.б.
(iii) күйөөгаз: O2, Cl2, N2O, NF3… жана башкалар.
(iv) инерттүүгаз: N2, Cf4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, NE, KR, ал ...
Көпчүлүк жарым өткөргүч газдарынын адам денесине зыяндуу. Тактап айтканда, Сиху сыяктуу ушул көптөгөн газдар4 Стихиялуу күйүү абадагы кычкылтек менен зордук-зомбулук менен жооп берип, өрттөй баштайт; жана күл3Өзгөрүү, бир аз агып кетүү адам өмүрүнө коркунуч туулушу мүмкүн, анткени бул ачык коркунучтардан улам, тутумдун дизайнынын сакталышына коюлган талаптар өзгөчө жогору.
Газдардын колдонмосу
Заманбап өнөр жай, газ продукциясынын маанилүү негизги материалдары кеңири колдонулат, ал эми жалпы газдар кеңири колдонулат, ал эми жалпы газдар же атайын газсарлар металлургия, шамдаларда, химиялык, электроника, курулуш материалдары, курулуш, курулуш, тамак-аш иштетүү, дары-дармектер жана медициналык сектордо колдонулат. Эгерде газды колдонуу ушул талаалардагы жогорку технологияларга маанилүү таасирин тийгизет, ал эми анын орду-зри зымын же процесстин газы болуп саналат. Ар кандай жаңы өнөр жай тармактарын жана заманбап илим менен технологияларды жайылтуу жана заманбап илим жана технологияларды илгерилетүү менен гана газ өнөр жай продукциялары ар түрдүүлүк, сапат жана сан жагынан секирип, чектер менен иштелип чыгышы мүмкүн.
Микроэлектроника жана жарым өткөргүч өнөр жайындагы газ жөнүндө арыз
Айрыкча, микроэллек-механикалык (MEMS) тармагына чейин, симпронттор процессинде газды ар дайым маанилүү ролду ойногон, ал эми салттуу ультрафи, ал эми микродолбоордук-механикалык (Мемор-Мемонталдык) продуктулардын продукциясын өндүрүү процесси катары колдонууда, ар кандай тармактарда кеңири колдонулуп келген. Газдын тазалыгы компоненттерди жана продукттун түшүмүн жүргүзүүгө чечкиндүү таасирин тийгизет жана газ берүү коопсуздугунун коопсуздугу персоналдын ден-соолугуна жана өсүмдүк операцияларынын коопсуздугуна байланыштуу.
Жогорку тазалык газ транспортунда жогорку тазалык түтүктүн мааниси
Дат баспас болоттон жасалган эрүү процессинде, 200г га газга бир тонга сиңип кетиши мүмкүн. Дат баспас болоттон кийин, анын үстүнө ар кандай булгоочу заттар менен гана эмес, анын металлургиялык тордо да белгилүү бир өлчөмдөгү газды сиңирип салгандан кийин да Куурчак аркылуу аба агымы бар болгондо, май куюунун бул бөлүгүнөн абалды сиңирет, таза газды булгаган аба агымына кирет. Трубадагы аба агымы агып кетсе, басым басым астында бажы астында болот, ал эми участок баскычтар токтоп калган газды чечүү үчүн басымдын төмөндөшүн пайда кылат, ошондой эле чечилген газ түтүктүн таза газына кирет. Ошол эле учурда, адсорбция жана резолюциянын ички бетине металлдын белгилүү бир өлчөмүн жаратып, ошол эле порошокту чыгарат, бул темир чаң бөлүкчөлөрү түтүктүн ичинде таза газды булгайт. Түтүктүн бул өзгөчөлүгү, транспорттолгон газдын ички бетинин эң жогорку деңгээлин гана эмес, ошондой эле жогорку эскирген каршылыкка ээ болгону үчүн, ошондой эле жогорку эскирген
Кыйналган дат басылгандай, газ колдонулганда, дат баспас болоттон жасалган түтүктөр колдонулушу керек. Болбосо, түтүк ички бетиндеги коррозия жерлерге дат алып чыгат, ал эми олуттуу учурларда таза газды бөлүштүрүлүшү үчүн, ал тургузулган же атүгүл перфорациянын чоң аянты болот, ал тургузулган, ал тургай, таза газды бөлүштүрүлөт.
Жогорку тазалыктын жана жогорку тазалыкты өнүктүрүүнүн байланышы ири агымдардын ставкаларынын тарифтери.
Негизинен, алардын бардыгы ширетилген жана колдонулган түтүктөрдүн ширетүү колдонулганда, эч кандай өзгөрүү болбошу керек. Директин ичине жана тышындагы газдардын ичине жана тышындагы газдардын ичине жана тышындагы газдардын ичине кирип, жугуучу газдын ичи жана тышындагы газдардын ичиндеги газдардын жана анын бардык аракеттерибиздин тазалыгын, анын тазалыгын, анын бардык аракеттерибиздин тазалыгын, анын ичиндеги газдардын өз ара байланышын, анын бардык аракеттерибиздин тазалыгын, анын ичиндеги газдардын өз ара киришин, кургактыкты жана тазалыкты бузат.
Жалпысынан, жогорку тазалыктын бензин үчүн, атайын тазалыктын атайын дарылоо үчүн, жогорку тазалыктын түтүгүнүн (түтүктөрдү, арматура, клапандар, взингтинг, клапандар, вмб, VMP) негизги миссияны ээлейт.
Ташуу жана бөлүштүрүү түтүктөрү үчүн таза технологиялардын жалпы түшүнүгү
Пип менен өткөрүлө турган жогорку жана таза газдын дене жугушу, газдын ташылгандыгы үчүн белгилүү бир талаптар же контролдоо бар экендигин билдирет.
Газ тазалыгы: GGAS тазалагычтын мазмуну, адатта, газдын маанилери, адатта, газ тазалыгынын пайызы, ошондой эле 99.9999%, мисалы, ыпластыктын атмосферасынын курамына катышы катары көрсөтүлөт, ошондой эле PPM, PPB, PPT.
Кургак: Газдагы нымдуулуктун көлөмү же нымдуу нымдуулуктун көлөмү, адатта, атмосфералык басым дюй -7 -70 сыяктуу шүүдүрүм чекитинен билдирилген. C.
Тазалык: Газдын, бөлүкчөлөрүндө камтылган булгоочу бөлүкчөлөрдүн саны, компресстүү аба үчүн канча бөлүкчөлөр / м3, адатта, мунай мазмунун камтыйт.
Булгоочу көлөмүн классификациялоо: Булчуңдун бөлүкчөлөрү, негизинен, металл бөлүкчөлөр, атмосфералык скайчалары, атмосфералык саздуу, микроорганизмдер, фарорганизмдер, факоорганизмдер, факор жана нымдарды, ж.б.
а) ири бөлүкчөлөр - Бөлүкчөлөрдүн көлөмү 5μм жогору
б) бөлүкчө - 0,1μm-5μm ортосундагы диаметри
в) Ультра-Микро бөлүкчөлөр - бөлүкчөдүн көлөмү 0,1μm чейин жетпейт.
Бул технологияны колдонууну өркүндөтүү үчүн, бөлүкчөдүн өлчөмүн жана μM бөлүмдөрүн түшүнүү үчүн, шилтеме үчүн бөлүкчөлөрдүн статусу
Төмөндө белгилүү бир бөлүкчөлөрдү салыштыруу болуп саналат
| Аты / бөлүкчөлөрдүн көлөмү (μm) | Аты / бөлүкчөлөрдүн көлөмү (μm) | Аты / бөлүкчөлөрдүн көлөмү (μm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Аэрозольделген микродоллт 1-12 |
| Ядролук отун 0.01-0.1 | Боёк 0.1-6 | Учуу күл 1-200 |
| Карбон кара 0.01-0.3 | Сүт порошогу 0.1-10 | Пестицид 5-10 |
| 0.01-1 | Бактерия 0.3-30 | Цемент чаң 5-100 |
| Тамеки түтүн 0.01-1 | Кум чаң 0.5-5 | Полен 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Пестицид 0.5-10 | Адамдын чачы 50-120 |
| Кристаллдашкан туз 0.03-0.5 | Концентрацияланган сульфур 1-11 | Деңиз кум 100-1200 |
Пост убактысы: июнь-14-2022