Жарым өткөргүч жасалгаларда жасалма, газдар бардык жумуштарды аткарышат жана лазерлер баарына көңүл бурушат. Шиликонго транзистордук мүнөздөгү лазерлер болсо, кремнийден биринчи депозиттерди биринчи орунга койгон силиконга, ЭЧтин силиконду биринчи орунга коюп, лазерди бузат. Микропроцессорлорду иштеп чыгуу үчүн колдонулган бул газдар, көп баскычтуу процесси аркылуу колдонулганы таң калыштуу эмес. Бул чектен тышкары, алардын көпчүлүгү башка көйгөйлөргө жана чектөөлөргө ээ. Кээ бир газдардын кээ бирлери Cryogenic, башкалары дат баспашы, ал эми башкалар өтө уулуу.
Бардыгы болуп, бул чектөөлөр Жарым өткөргүч өнөр жайы үчүн газ бөлүштүрүү тутумун өндүрүү бир кыйла кыйынчылык жаратат. Материалдык мүнөздөмөлөр талап кылынат. Материалдын өзгөчөлүктөрүнөн тышкары, газды бөлүштүрүү массиви - бул өз ара байланышкан тутумдардын татаал электромеханикалык массиви болуп саналат. Алар чогултулган чөйрөлөр татаал жана бири-бирине дал келет. Орнотуу процессинин бир бөлүгү катары, акыркы жасалгалоо. Орбиталык ширетүүчү катуу жана татаал шарттарда жасалгалоолорду башкарууга татаалдаштырып жатканда газ бөлүштүрүү талаптарын канааттандырууга жардам берет.
Жарым өткөргүч өнөр жайында газдар кандайча колдонулат
Газ бөлүштүрүү тутумун өндүрүүнү пландаштырууга аракет кылуудан мурун, жок дегенде, жарым өткөргүч өндүрүшүнүн негиздерин түшүнүү керек. Анын өзөгүндө жарым өткөргүчтөр газарды бетистин жанындагы элементалдык катууларга алмаштырган геометрлерин өтө башкарылуучу абалда депозитти өздөштүрөт. Андан кийин депонирленген катуу заттар кошумча газдарды, лазерлерди, химиялык этеканттарды жана жылуулукту киргизүү менен өзгөртүлөт. Кеңири процесстин кадамдары:
Депозитор: Бул баштапкы кремний вафлигин түзүү процесси. Кремний прекурсор Газалары вакуумдан четтепөө палатасына соруп, химиялык же физикалык өз ара аракеттенүү аркылуу жука кремний вафли пайда болушат.
Фотофография: Сүрөт бөлүмү лазерлерге тиешелүү. Эң жогорку деңгээлдеги ультрафиолет литографиясында (EUV) спектрин эң жогорку спектрин, көмүр кычкыл газынын лазери, микропроцессордук схемаларды вафлиге киргизүү үчүн колдонулат.
Эбинг: Эбегейсиз жүрүү процессинде, Халоген-көмүр кычкыл газын кремний субстраттагы тандалган материалдарды жандандырып, таркатуу үчүн палатага сордурулат. Бул процесс лазердик басылган соңку субстратка беттешет.
Допинг: Бул селцентивациянын так шарттарын аныктоо үчүн, беттеги бетинин өткөрүмдүүлүгүн өзгөрткөн кошумча кадам.
Аналинг: Бул процессте вафли катмарларынын реакциясы көтөрүлгөн басым жана температура менен шартталган. Чындыгында, ал мурунку процесстин натыйжаларын бүтүрүп, Ваффердодо акыркы процессорду жаратат.
Палата жана линияны тазалоо: Мурунку кадамдарда колдонулган газдар, айрыкча жактай, айрыкча, допинг көбүнчө өтө уулуу жана реактивдүү болуп саналат. Ошондуктан, процесс бөлмөсү жана газдар менен азыктандыруу заттарынын зыяндуу реакцияларды азайтуу же жок кылуу үчүн газдар менен толтуруу керек, андан кийин тышкы чөйрөдөн ар кандай айлана-чөйрөдөн келген газдардын киришинин алдын алуу үчүн инерттүү газдар менен толтурулат.
Жарым өткөрүүчү өнөр жайындагы газды бөлүштүрүү тутумдары көп учурда татаал, анткени көп учурда ар кандай газдардан жана убакыттын өтүшү менен газдын агымын, температурасын жана басым жасагандыгы үчүн татаал. Бул процессте ар бир газ үчүн талап кылынган ультра жогорку тазалыгы менен татаалдашууда. Мурунку кадамда колдонулган газдар, процесстин кийинки кадамы баштала электе эле нейтралдаштырылгандан кийин, башкача айтканда, бир нече саптардан жана палаталарынан алыс болуш керек. Демек, ширетдүү трубанын тутумдарынын жана шлангдардын жана түтүктөрдүн жана карындардын жана карандаштардын ортосундагы интерфейстердин ортосунда бир катар адистештирилген линиялар, интерфейлер бар экендигин билдирет, ошондой эле жаратылыш газын алмаштырууга жол бербөө үчүн, мөөр баскычтардын жана селинг тутумдарынын ортосунда интерфейлер бар экендигин билдирет.
Мындан тышкары, Cleanroom сырткы жана адистиги газдарында тазалоо чөйрөсүндө жапырт газ менен камсыздоо тутумдары менен жабдылган, кокусунан агып жаткан учурда, кандайдыр бир коркунучтарды азайтуу үчүн адистештирилген жерлер менен жабдылат. Мындай татаал чөйрөдөгү бул газ тутумдарын ширетүү оңой иш эмес. Бирок, майда-чүйдө жабдыктарга кам көрүү, көңүл буруу менен, бул тапшырманы ийгиликтүү аткарууга болот.
Жарым өткөргүч өнөр жайындагы газ бөлүштүрүү тутумдарын өндүрүү
Жарым өткөргүчү газды бөлүштүрүү тутумдарында колдонулган материалдар өтө өзгөрүлмө. Аларга PTFE типтелген металл түтүктөрү жана шлангына каршы дөңгөч газдарына туруштук бере алышат. Жарым өткөргүч өнөр жайындагы жалпы максаттагы эң көп кездешкен материал 316лик дат баспас болоттон жасалган - көмүртек дат баспас болот Variant. 316L 316, 316, 316 млн. Бул көмүртекти буза турган бир катар реактивдүү жана потенциалдуу туруксуз газдар менен алектенүүдө маанилүү. Ширеде 316лик дат баспас болоттон жасалган болоттон жасалган көмүртек жаан-чачындарды чыгарат. Ошондой эле ал дан эгиндеринин чокусуна чалдыгып, директорлор менен жылуулук жабыр тарткан зоналарда дат орнотууга алып келиши мүмкүн.
Продукция линиясынын коррозиясына жана булганышына алып баруучу дат алып салуу мүмкүнчүлүгүн азайтуу үчүн, 316лик дат баспас болоттон жасалган, 316лик дат баспас болоттон жасалган газ жана вольфра газ корголгон ширетүүчү рельстер жарым өткөргүч өнөр жайындагы стандарт болуп саналат. Процесс түтүктөрү менен жогорку тазалыкты сактоо үчүн контролдоону камсыз кылган бир гана ширетүүчү процесстин бир гана ширетүү процесси. Автоматташтырылган орбиталык ширетүү жарым өткөргүчи газ бөлүштүрүү тутумунун жасалгалоо тутумунун сурамжылоосунда ширетдүү процессти көзөмөлдөө гана камсыз кылат. Тиркелген орбиталык шайыргы баштары бар жана татаал мейкиндиктерди жараян аймактарынын ортосундагы татаал кесиптештирүүлөрдө жайгаштыра алат.
Шэньчжэнь Вафи технологиясы CON, ООО Биз жарым-ченемдерди электрондук адистик газдарынын кеңири чөйрөсүн жана арматураларын гана бере албайбыз, ошондой эле биздин кардарлар үчүн газ түтүктөрү жана жабдууларын орнотуу.
Пост убактысы: июл-31-2023